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等离子清洗器

发布时间:2020-05-24 18:54:17 浏览次数: 146


等离子清洗器.jpg


仪器名称:等离子清洗器

型号:PCE-6

主要测试范围:射频频率:3.0MHz;极限真空度:50mtorr;通入气体:N2、Ar、H2、O2等。

功能介绍:通过空气、氧气或者氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲疏水性)。