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原子力显微镜系统

发布时间:2021-04-09 15:20:41 浏览次数: 42

(一)主要功能

(1) 扫描范围 X/Y/Z:  50 um x 50 um x 10 um;

(2) X/Y位置噪声优于0.3nm RMS;Z位置噪声优于0.3nm RMS;

(3) 全自动XY样品台,行程100mm×100mm,精度<1um;

(4) 最大扫描线速度:5  lines/s

(5)支持接触模式、轻敲模式、相位成像模式、横向力/摩擦力显微镜、力曲线、接触共振模式等模式。

(6) Z轴行程85mm,精度<1um;

(7)最大样品尺寸:直径45 mm,高度 25 mm;

(8)样品重量:最大 600 g;

(9)支持45mm全自动样品定位,快速图像寻址,并对目标测试区域标记;

(10)彩色视频显微镜,500万像素,视场1.73mm×1.73mm,空间分辨率5um,支持全自动对焦

(11)彩色总览显微镜,500万像素,视场40mm×40mm,空间分辨率50um。

(12)侧视显微镜,视场30mm,空间分辨率70 µm,带有刻度,可实时观测进针过程。

(13)配置专用滑轨式探针快速安装和拆卸工具,实现最高效和安全的探针更换过程。

(14)配置专用Analysis软件,工作流程化分析,可定制工作流程模板和标准化报表,可实现计量的追溯性,支持3D多通道成像。

(二)样品要求:

    待测样件长l<50mm, 宽w<50mm, 高h<250mm;样件质量m<600g; 待测表面粗糙度Ra及Rz均小于8μm,待测样件应为干燥样品,分散样件应固定在干净平整的载玻片上。

(三)设备图

                                               

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